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有機玻璃實(shí)驗裝置訂制產(chǎn)品參數僅供參考：1、有機玻璃塑料實(shí)驗裝置用泵過(guò)流部件材料?？蛇x用奧氏體不銹鋼、氟塑料(F46、氟塑料合金、PVDF)、超高分子量聚乙烯、陶瓷、搪玻璃等。對于接觸高潔凈物料(如蒸餾水)的泵，其過(guò)流部件應采用超低碳奧氏體不銹鋼。

真空環(huán)境試驗艙，用于氟塑料實(shí)驗裝置的泵應工作可靠、密封良好、結構緊湊、尺寸較小，以利于操作、清潔和維護。 2、潔凈區內使用的泵，為便于全面清洗，氟塑料泵與管道之間好采用活性連接!其底座好也應采用腳支撐，使底座脫開(kāi)地面。

真空實(shí)驗箱體，實(shí)驗箱體的參考配置，僅供參考：溫度均勻性：≤±1.5%℃； 升溫速度：0-8℃/min； 氧濃度：≤20ppm 工作尺寸：2-12寸晶圓及方片兼容，可尺寸定制 電源：AC380V/50HZ, 操作方式：人機界面+PLC，自動(dòng)控制，程式運行 進(jìn)氣口：φ10mmN2進(jìn)氣、流量計控制/可調